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Étymol. et Hist. 1. 1555 [éd.] « sédiment, dépôt » (Aneau, Trésor de Evonime Philiatre, p. 18); 2. 1875 géol. (Ch. Martins ds R. des Deux Mondes, 15 avr., p. 854: Elles marquent probablement la limite extrême de l'affaissement, ou, pour employer l'expression anglaise, de la subsidence du pays au-dessous de la mer); 3. 1949 météor. surface de subsidence (Nouv. Lar. univ.). Empr. au lat.subsidentia « dépôt, sédiment », dér. de subsidere « se baisser, tomber au fond, former un dépôt » (subside*); 2 peut-être par l'intermédiaire de l'angl. subsidence att. avec ce sens dès 1802 (NED).