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Étymol. et Hist. 1. 1381 un subdelegué part. passé subst. « personne déléguée dans une fonction par une autre personne elle-même déléguée » legaz, subdeleguez, commissaires (Lett. de Ch. VI, ap. D'Aussy, Reg. de l'échevinage de Saint-Jean d'Angely, I, 275 ds Gdf. Compl.); en partic. 1660 « sous l'Ancien Régime, fondé de pouvoir qui assistait l'intendant dans l'administration d'une généralité, ou qui était à la tête d'une subdélégation » (Pellisson, Let. hist., t. III, p. 261 ds Littré); 2. av. 1596 subdeleguer « déléguer quelqu'un dans une fonction pour laquelle on a été soi-même délégué » deputer vicaire ou subdeleguer (P. Pithou, 58, ibid.). Dér. de déléguer*; préf. sub-*.