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Étymol. et Hist. 1797-98 (Guyton de Morveau ds Ann. chim. et phys., t. 25, p. 221). Formé du gr. σ τ ο ι χ ε ι ̃ ο ν « élément principe » et -métrie*. Le mot est att. en all. dès 1794 (Richter, Anfangsgrunde der Stoechyometrie); cf. 1721 stoecologie phys. « recherche et explication des éléments » (Trév.).