1745 (Diderot, Principes de la philosophie morale, ou essai de M. S** A. Cooper Comte de [Shaftesbury] sur le mérite et la vertu, avec réflexions, Amsterdam, p. 12, note). Terme formé sur le gr. θεός « Dieu » (suff. -isme*) d'abord en angl. (1678 ds NED) d'où il est passé en fr.