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Étymologie du Trésor de la Langue Française (1960-1990)
1.
a) 1800 admin. (Loi du 17 ventôse, an VIII [8 mars] ds B. des lois, n° 13, art. 90 [3e série, t. 1], p. 1);
b) 1800 chef-lieu de sous-préfecture (ibid., p. 4);
2. 1812 « fonction de sous-préfet » (Mozin-Biber : aspirer à la sous-préfecture). Dér. de préfecture*; préf. sous-*.