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Étymologie du Trésor de la Langue Française (1960-1990)
1538 massiveté (Est.); 1547 massivité (J. Martin, Architecture, trad. de Vitruve, p.13 r° ); à nouv. en 1863 (Goncourt, loc. cit.). Dér. de massif*, -ive ; suff. -(i)té*.