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Étymologie du Trésor de la Langue Française (1960-1990)
1. 1547 «craintif» (Budé, Instit. du prince, éd. J. Foucher, ch. 39 ds Hug.), rare;
2. av. 1813 «empreint de scrupule» ton méticuleux [d'un personnage] (Delille, Convers., II ds Littré);
3. 1817 «qui s'attache scrupuleusement au détail, procède avec un soin méticuleux» censure méticuleuse (Stendhal, Rome, Naples et Flor., t. 2, p. 88); 1831 (Balzac, Peau chagr., p. 982: méticuleux comme un chef de bureau);
4. 1821 «qui est le fruit d'un esprit minutieux» livre méticuleux (Nodier, Smarra, p. 16). Empr. au lat. meticulosus «craintif», d'où le sens 1, le développement des autres sens étant propre au français.