Étymologie du Trésor de la Langue Française (1960-1990)
Ca 1590 (Montaigne, Essais, éd. P. Villey, II, 11, p. 429) — 1660 (Oudin Fr.-Esp.); repris par Boiste 1834 qui cite Montaigne. Soit dér. de substantiel*, préf. in-1 *, soit empr. au b. lat. insubstantialis, dér. de substantialis, v. substantiel.