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Étymologie du Trésor de la Langue Française (1960-1990)
1689 « caractère de ce qui est inexact » (Andry de Bois-Regard, Réflexions sur l'usage présent de la langue françoise, p. 265, s.v. inexact). Dér. de inexact*; suff. -itude* d'apr. exactitude*.