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Étymologie du Trésor de la Langue Française (1960-1990)
1er tiers xvie s. (Fossetier, Cron. Marg., ms. Bruxelles 10511, VI, IV, 2 ds Gdf. Compl.) - 1587 (Discours de l'ame ds R. Philol. fr., t. 45, p. 142); à nouv. 1794 (Pougens, Vocab. de nouveaux privatifs français, s.v. mérité), puis 1829 (Journal des débats, I, p. 193). Dér. de mérité*; préf. in-1 *.