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Étymologie du Trésor de la Langue Française (1960-1990)
1586 (Suau, Traitez contenans la pure et vraye doctrine de la peste et de la coqueluche d'apr. Dauzat 1938); 1641 (E. de Clave, Principes de nature, p. 40 ds DG). Dér. de hétérogenée, hétérogène*; suff. -ité* d'apr. homogène/homogénéité.