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Étymologie du Trésor de la Langue Française (1960-1990)
1.
a) fin xe s. fillie « personne du sexe féminin considérée par rapport à son lieu d'origine » (Passion, éd. D'A. S. Avalle, 261 : fillies Jerusalem);
b) ca 1050 filie « personne du sexe féminin considérée par rapport à ceux dont elle est née »(La Vie de Saint Alexis, éd. Chr. Storey, 40);
2. 2e moitié du xiiie s. Filles-Dieu « nom donné à certaines religieuses » (Rutebeuf, Le Frère Denise ds Œuvres, éd. E. Faral, et J. Bastin, t. II, p. 291 vers 231);
3. 1389 « femme qui mène une vie de débauche » (Ordonnances des rois de France de la troisième race, t. 7, p. 309 : fille de joye);
4.
a) 1606 « femme attachée à la reine » (Du Vair, Actions et traités oratoires, éd. R. Radouant, I, 679);
b) 1655 fille d'honneur « suivante » (Molière, Étourdi, III, 3);
5. 1528 « jeune fille nubile ou femme non mariée », (Cl. Marot, Epithalame, I, 57 ds Œuvres lyriques, éd. C. A. Mayer, p. 312);
6. 1601 « chose qui naît d'une autre » (A. de Montchrestien, La Reine d'Escosse, éd. J. D. Crivelli, 618). Du lat. class. filia « enfant du sexe féminin, jeune personne ».