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Étymologie du Trésor de la Langue Française (1960-1990)
Av. 1502 (O. de St Gel., Sej. d'honn., f° 70 v° ds Gdf. Compl.). Empr. au lat. médiév. entitas, -atis (1233 ds Latham ; lui-même de ens, -entis part. prés. de esse).