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Étymologie du Trésor de la Langue Française (1960-1990)
1912 (Garnier et Delamare, Dict. des termes techn. de méd., 5e éd. ds Quem. Fichier). Empr. à l'all. Diathermie (du gr. διά « à travers » et de θἐρμη « chaleur ») mot introduit par le médecin allemand F. Nagelschmidt, cf. 1909 Münch. med. Wochenschr., 14 déc., 2575/1 d'apr. NED Suppl.2.