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Étymologie du Trésor de la Langue Française (1960-1990)
— De l'adj. demi, ie. Les premiers composés apparaissent au xiie s. L'examen des ex. de T.-L. montre que la flexion de demi est la règle jusqu'au xive s. Avant, on ne trouve qu'une attest. de demi invar., devant adj. : lors menbres demei nuz (Sermons de St Bernard, xiie s.). Après, demi fléchi est le cas le plus fréq., mais on trouve aussi des ex. avec demi invar. : demi louvee, demi louee, demi lieuee (Baudoin de Sebourc, 1360-70), demy journee (Voyage à Jérusalem, 1395). C'est Vaugelas, appuyé par Th. Corneille et l'Ac., qui a posé la règle de l'invariabilité de demi- élément de compos. On trouve encore, cependant, de nombreux cas d'accord au xviie siècle.