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Étymologie du Trésor de la Langue Française (1960-1990)
1555 (Billon, Le Fort inexpugnable, 210b ds Rom. Forsch., t. 32, p. 15 : Le François ... peuple de toute ancienneté... exempté de l'Atheysme). Dér. de athée*; suff. -isme*.